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多级罗茨泵-真空工艺应用

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-11-30 0:14:11 * 浏览: 49
多级罗茨泵的腐蚀性气体版本的优点包括:■■通过调节温度,吹扫气体的流量和速度来完美调节相关的真空过程■■气体替代区域中没有润滑剂■■没有工作流体处理问题■■高可靠性和系统正常运行时间■■维护间隔长,能耗低,冷却水和冲洗气体介质消耗低,因此拥有成本更低■■占地面积小,在洁净室和泵级方面性能良好■集成且经济■控制选项,本地或远程控制,集成在一个监控网络中■■Z *泄漏率小■■非常适合腐蚀性过程中的涡轮分子泵和罗茨泵。泵■■经过认证,符合UL / CSA和SEMIS2要求。灰尘和颗粒流泵与从处理室和前部真空管道转移到泵中的颗粒接触。另外,还必须允许由于泵本身内副产物反应的冷凝而产生的颗粒和沉淀物。理想情况下,使用可调节的加热和温度控制模式可避免形成颗粒和沉积物。通过垂直抽吸,任何从泵级中掉出的颗粒都会保留在下一级的排放通道中。在下一次排气和随后的疏散之后,颗粒将通过替代气体排放到下一阶段。这种排除机制将超过98%的生成颗粒从入口排放到出口。这意味着可以在泵出口处提供中央排气净化系统,该系统不仅捕获和处理工艺化学品,而且还捕获和处理颗粒。只要在适用于腐蚀性,有毒和可冷凝介质的真空溶液中可行,就可以避免在进气侧出现高维护陷阱。 P和H系列腐蚀性气体多级罗茨泵设计用于屏幕,半导体,太阳能和涂料行业的腐蚀性气体工艺。泵的金属转子和定子以及弹性体材料均由高度耐腐蚀的材料制成。高泄漏率和防止气体从周围空气或排气净化系统或洗涤塔通过止回阀膨胀的能力,使多级罗茨泵成为腐蚀性气体应用的理想解决方案。封装电机也是防漏概念的一部分。